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英國(guó)愛德華羅茨真空泵EH500C 460V，3 相，60Hz，3hp

概述

防爆型機(jī)械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可以在潛在易爆氣體環(huán)境中使用。

EH500C 機(jī)械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可用于 CSA Division 1 區(qū)域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級(jí)壓力下保持的泵出氣口壓力。

EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。

機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

防爆型機(jī)械增壓泵可能配備防爆型電機(jī)，或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。請(qǐng)咨詢 Edwards。英國(guó)愛德華羅茨真空泵EH500C 460V維修保養(yǎng)?

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制程
• 真空蒸餾
• 真空包裝
• 鋼脫氣
• 薄膜覆層
• 真空冶金
• 低密度風(fēng)洞
• 空間模擬
• 真空浸漬
• 油干燥和脫氣
• 制藥冷凍干燥
• CO₂ 激光

EH500C 460V，3 相，60Hz，3hp

NRA999000

功能和優(yōu)勢(shì)

• 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。

• 它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

• EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

  • 安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。

  • 牢靠且防腐蝕。

  • 良好的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

• 防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。

• 經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到低。

• 軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

• 動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是良好技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。英國(guó)愛德華羅茨真空泵EH500C 460V維修保養(yǎng)?

技術(shù)數(shù)據(jù)

*重量請(qǐng)參考 IND 版本

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