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新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX500 使用了*的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。 模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX500L 干式真空泵維修保養(yǎng)

新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了*的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。 模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養(yǎng)

iH 干泵 Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機(jī)械增壓泵和*封閉的水冷卻電機(jī)。英國edwards愛德華iH1800干式真空泵維修

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Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機(jī)械增壓泵和*封閉的水冷卻電機(jī)。英國愛德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修